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英国雷尼绍光栅测量系统： |
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Renishaw提供品种繁多的紧凑型光栅，以满足不同行业的需求。雷尼绍光栅系统的成功开发是基于其创新的非接触式光学结构,这种设计在实现精确测量、高分辨率和零机械磁滞的同时，有很强的抗污能力，如灰尘、轻度油渍和划痕而不影响信号的完整性。这些都确保用户的机器运行可靠而不需过多的维护。不仅如此，Renishaw的光栅系统还以其易于安装响誉业界。镀金的光栅尺可被灵活地剪至所需长度以适应不同的轴长（最长可达70米），其背面自粘的特别设计使得安装时无需钻孔和螺钉压紧，从而节省了时间和成本。所有读数头和接口都有获得专利的LED安装状态指示灯监控，而无需示波器及其它复杂的安装监控装置，这样也节省了时间和成本。
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Renishaw光栅测量系统可以应用在三坐标测量、计量检测、装配测试、运动控制、电子设备、半导体制造和测量、医疗设备、印刷扫描、仪器设备、超高精度机器和装置等高精度高要求领域。 |
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产品分类： |
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一、RG2
直线光栅系列 |
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20
um直线光栅－技术
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20 um 栅距的 RG2
系列光栅测量性能优异、可靠性强、易于使用，广泛应用于各种测量场合。分辨率从 5
µm 到 10 nm，速度可达 8 m/s。 |
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技术指标 |
RG2
是开放式的非接触光学系统，能够消除摩擦和磨损，可保证高速、高分辨率的可靠运动。即使在车间环境使用，其独创的光学滤波系统也能确保极好的信号稳定性。
所有类型的读数头均具有行业标准的模拟或数字信号输出：模拟信号为 20 µm 的周期，数字信号的分辨率从 5 µm 到 50
nm。所有系统均配有独创的内置安装状态指示灯，如果安装正确则绿灯亮。所有型号的读数头都有参考零位和/或限位开关。参考零位提供可重复的起始位置，而限位开关则指示行程的终点。RGH22
读数头也有双限位开关选项，在行程的两端提供各自的信号输出。
红外发光二极管把光发射到光栅尺的刻划面，然后通过透明的指示光栅刻划面将光反射到读数头中。这样就在读数头的检测面产生了正弦干扰条纹。 |
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该光学系统采用对 80
条以上的条纹进行均分的技术，有效滤掉了与光栅尺刻划周期不匹配的信号。即使在光栅尺受到污染或轻微损坏的情况下，也能确保信号的稳定性。
热膨胀特性经常是决定整体测量精度的重要因素。RGS20
光栅尺在端部紧固，因此迫使其膨胀特性与基体材料的膨胀特性一致，无须对不同的膨胀系数进行补偿。
独特的光学设计确保了很小的短周期误差，周期误差（即细分误差）通常小于 ±0.15 µm。线性误差特性为每 60 毫米
±0.75 µm，或任意每米 ±3 µm。
RGS20
镀金钢带光栅尺表面涂漆，便于使用和维护。背面自带不干胶，安装简单快捷；对于各种型号的读数头，有不同的安装工具可供选择。光栅尺成卷供货，用户可根据需要任意裁剪，便于库存管理。
借助专用安装工具，通过机器轴运动保证精确准直，可快速安装光栅尺。
只要把参考零位、限位开关和端压块粘到相应的位置，就可完成安装。 |
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特点 |
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●
高速、可靠的非接触式特性适用于现今工厂自动化生产对高速度的要求。
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零磨擦和零机械磨损。
●
开放式光学系统可抵御大多数自动化生产环境中的污染。
●
成卷供货的光栅尺可被方便地“剪至所需”（最长可达70m），不需储备不同长度的光栅尺。
●
获得专利的光栅尺安装器，有助于实现快速简便的安装。
●
内置式安装指示灯：绿灯亮时表示安装正确；无需示波器或专门的安装装置。
●
双限位开关具有独一无二的指示轴向运动停止点的功能。
●
独一无二的光栅尺与基体的热匹配。
●
结构紧凑的读数头具有集成的内置细分电路，有系列模拟和数字信号输出，分辨率从5 μ m 到10nm RG2
读数头采用的创新技术集成了其灵活、用户友好的特点，同时具有优异的测量性能。世界领先的坐标测量机的制造厂商都信任RG2。在他们的很多机器上都能看到令人熟悉的金黄色条状光栅尺。 |
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产品分类 |
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RGH22
●
紧凑而坚固的外壳
●
工业标准数字和模拟信号输出
●
内置细分卡和安装LED指示灯
●
分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0.1μm 到50nm
●
参考零位和双限位开关传感器
●
高柔性双屏蔽12 芯电缆或带状电缆可选
●
三态低电平报警信号或全报警输出
●
16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
●
也可提供5μm，1μm，0.5μm (RGH26)与Mitsubishi Melservo.-J2-Super
兼容的产品 |
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RGH24 ●
小巧而坚固外壳
●
工业标准数字和模拟信号输出
●
内置细分卡和安装LED指示灯
●
分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm 到50nm不等
●
参考零位或单限位开关传感器
●
高柔性双屏蔽8芯电缆
●
三态低电平报警信号输出
●
14.8mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
●
可提供JST连接器 |
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RGH25 ●
超小而坚固外壳
●
工业标准数字和模拟信号输出
●
外置细分卡和安装LED指示灯
●
分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm，50nm，20nm和10nm
●
参考零位或单限位开关传感器
●
高柔性双屏蔽8芯电缆
●
三态低电平报警信号输出
●
10.5mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
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二、RG4 直线光栅系列 |
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40 µm 直线光栅－技术 |
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分辨率从 10 µm 到 0.1 µm 的钢带和玻璃光栅尺 |
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技术指标 |
RG4
系统采用的光学技术与 RG2 开放式非接触光栅系统类似，保留了 RG2
的优点，但也有明显的区别，增添了一些新的优点。
40 µm 栅距的 RG4 系统具有速度更快、安装公差更大的特点，入射光的方向使用户可选用各种类型的光栅尺。
RG4 系列产品有两种读数头。RGH34 是结构紧凑的芯片形读数头，通过扁形软性电缆连接到一个小的 PCB
接口。可输出工业标准的模拟信号及分辨率从 10 µm 到 0.2 µm
的数字信号。系统中要么包含一个参考零位，要么包含一个限位传感器，由Renishaw标准励磁块触发。
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RGH41 和 RGH40 读数头为完全封装型号，直接提供模拟信号输出或分辨率从 10 µm 到 0.1 µm
的数字输出信号。RGH41 读数头用于 RGS40-S 镀金钢带光栅尺，而 RGH40 读数头专用于
RGS40-G 玻璃光栅尺。标准配置还包括磁性参考零位和双限位输出。以上两种读数头都配有Renishaw独创的安装状态指示灯。
RG4 使用的光学原理基本与 RG2 相同，不同之处在于，红外发光二极管发出的光是从与光栅尺刻划面成 90°
角反射到栅尺方向，而不是平行反射。
指示光栅与 RG2 位置相同，在检测面产生正弦干扰条纹。
RG4 系列光栅的工作原理允许使用各种光栅尺，如：
1）RGS40-S 镀金钢带光栅尺，表面涂漆，背面带不干胶。可使用各种专用安装工具，安装简单。
2）传统的镀铬玻璃光栅尺也可用于要求长度较短、无需标定精度的应用场合。Renishaw RGS40-G
光栅尺以确定长度提供，最长可达 1 m。
3）用户自制的反射式刻划直线光栅和钢基体的柱面光栅也可使用各种 RG4 读数头。
RG4 读数头继承了 RG2 短周期误差小的优点，典型周期误差为 ±0.25 µm。RGS40-S
光栅尺的线性误差特性仅为每 60 毫米 ±1 µm，任意每米小于 ±3 µm。
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特点 |
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●
开放式光学系统可抵御大多数自动化生产环境中的污染
●
高速、可靠的非接触式特性适用于绝大多数工厂自动化生产对高速度的要求
●
零磨擦和零机械磨损
●
宽松的安装公差使得安装快速、简便并且可靠
●
LED 安装指示灯可简化安装
●
内置式双限位开关提供行程终点指示
●
读数头及组件有系列输出供选
●
成卷供货的光栅尺可被方便地“ 剪至所需”
●
模拟信号具备优越的Lissajous 稳定性
●
某些RG4 读数头还能应用于刻划或是镀铬的玻璃光栅上 |
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产品分类 |
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RGH41
●
读RGS40-S金属尺
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紧凑而坚固的外壳
●
工业标准数字和模拟信号输出
●
内置细分电路和安装状态指示灯
●
分辨率从10μm，5μm，2μm 到 1μm
●
参考零位和双限位开关传感器
●
高柔性双屏蔽12 芯电缆
●
三态低电平报警信号或全报警输出
●
17.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W) |
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RGH34
●
读RGS40-S金属尺
● 与40μm
RESR圆光栅尺兼容
●
极小紧凑型读数头单元及PCB式细分电路
●
质量<2g
●
工业标准数字和模拟信号输出
●
分辨率从10μm，5μm，2μm，1μm，0.4μm 到 0.2μm
● FPC电缆
●
参考零位或单限位开关传感器
●
三态低电平报警信号或全报警输出
●
9.50mm×15.0mm×15.0mm (H×L×W) 仅读数头尺寸 |
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三、RESR 圆光栅系列 |
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 Renishaw的高精度圆光栅系统有多种规格的直径和刻线数供选择，与标准控制器兼容。它实际上是结构简洁、在柱面上直接刻线的不锈钢圆光栅；提供标准设计和低转动惯量的设计，适用范围广泛。
RESR
圆光栅具有内径大的特点，因此体积轻薄，转动惯量非常低。这意味着无论何时安装，回转轴定位都能达到最小扭矩和最大速度。
另外，由于内径大，电缆和气路安装更为容易。
虽然横截面很薄，但丝毫不会影响测量精度。采用Renishaw具有专利技术的锥面安装方式，包括锥轴安装面公差在内的所有安装公差均可调整到最佳状态，并可通过简单有效的精细调整来纠正跳动或椭圆度。 |
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技术指标 |
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许多应用都取决于旋转精度，RENISHAW的圆光栅系列提供了很好的解决方案。其系统精度可达0.7角秒，最高分辨率可达0.01角秒，重复精度可达0.01角秒，速度超过3000rpm。独特的锥面安装方式确保安装快捷，精度高。外径从52mm到413mm可供选择。大内径，低惯量最大限度地满足了不同用户的要求。 |
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RESR(圆光栅)特性 |
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标称外径 |
RGH20 数 字 分 辨 率 |
系统 精度 |
| 5 um（x4） |
1 um（x20） |
0.5 um（x40） |
0.2 um（x100） |
0.1 um（x200） |
50 nm（x400） |
20 nm（x1000） |
10 nm（x2000） |
| 标准外径 |
75mm |
≈27.4〞 |
≈5.5〞 |
≈2.74〞 |
≈1.10〞 |
≈0.55〞 |
≈0.27〞 |
≈0.11〞 |
≈0.055〞 |
±3.9〞 |
| 100mm |
≈20.6〞 |
≈4.12〞 |
≈2.06〞 |
≈0.82〞 |
≈0.41〞 |
≈0.21〞 |
≈0.082〞 |
≈0.041〞 |
±2.9〞 |
| 150mm |
≈13.7〞 |
≈2.75〞 |
≈1.37〞 |
≈0.55〞 |
≈0.27〞 |
≈0.14〞 |
≈0.055〞 |
≈0.027〞 |
±1.9〞 |
| 200mm |
≈10.3〞 |
≈2.06〞 |
≈1.03〞 |
≈0.41〞 |
≈0.21〞 |
≈0.10〞 |
≈0.041〞 |
≈0.021〞 |
±1.4〞 |
| 300mm |
≈6.9〞 |
≈1.37〞 |
≈0.69〞 |
≈0.27〞 |
≈0.14〞 |
≈0.069〞 |
≈0.027〞 |
≈0.014〞 |
±1.0〞 |
| 350mm |
≈5.9〞 |
≈1.18〞 |
≈0.59〞 |
≈0.24〞 |
≈0.12〞 |
≈0.059〞 |
≈0.024〞 |
≈0.012〞 |
±0.8〞 |
| 2n(p/r) |
52mm |
32768 |
163840 |
327600 |
819200 |
1638400 |
3276000 |
8192000 |
16384000 |
±5.6〞 |
| 104mm |
65536 |
327680 |
655360 |
1638400 |
3276800 |
6553600 |
16384000 |
32768000 |
±2.8〞 |
| 209mm |
131072 |
655360 |
1310720 |
3276800 |
6553600 |
13107200 |
32768000 |
65536000 |
±1.4〞 |
| 按角度选择 |
57mm |
0.01° |
0.002° |
0.001° |
0.0004° |
0.0002° |
0.0001° |
0.00004° |
0.00002° |
±5.1〞 |
| 115mm |
0.005° |
0.001° |
0.0005° |
0.0002° |
0.0001° |
0.00005° |
0.00002° |
0.00001° |
±2.5〞 |
| 229mm |
0.0025° |
0.0005° |
0.00025° |
0.0001° |
0.00005° |
0.000025° |
0.00001° |
0.000005° |
±1.3〞 |
| 按弧度选择 |
103mm |
20〞 |
4〞 |
2〞 |
0.8〞 |
0.4〞 |
0.2〞 |
0.08〞 |
0.04〞 |
±2.8〞 |
| 206mm |
10〞 |
2〞 |
1〞 |
0.4〞 |
0.2〞 |
0.1〞 |
0.04〞 |
0.02〞 |
±1.4〞 |
| 255mm |
8.1〞 |
1.62〞 |
0.81〞 |
0.32〞 |
0.162〞 |
0.081〞 |
0.032〞 |
0.0162〞 |
±1.1〞 |
| 413mm |
5〞 |
1〞 |
0.5〞 |
0.2〞 |
0.1〞 |
0.05〞 |
0.02〞 |
0.01〞 |
±0.7〞 |
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注：光栅尺栅矩为 20 um. |
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相关计算公式： |
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每转线数=π*D/(20um/1000)*细分倍数 |
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角分辨率=360*60*60/每转脉冲数 |
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RGH20 ●
与20μm 栅距RESR 圆光栅兼容
●
光学滤波系统提供优异的抗污迹能力
●
小巧坚固的外壳
●
工业标准的数字和模拟信号输出
●
内置细分卡和安装LED 指示灯
●
分辨率从5μm ，1μm，0.5 μm ， 0.1μm，50nm，20nm 到10nm
●
参考零位或单限位开关传感器
●
高柔性双屏蔽8 芯电缆
●
三态低电平报警信号或全报警输出
●
14.8mm（或10.5 mm ）×36. 0mm×13.5mm (H×L×W)
●
可选高真空兼容型 |
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